Patent File Information
Application Information
Applicants
Person No Name Address
7622176 KONINKLIJKE PHILIPS N.V.
Inventors
Person No Name Address
6235059 C. JOHAN COMPTER
6235060 M. C. PETRUS FRISSEN
6235061 JAN EIJK VAN
Invention Information
Name Of Invention Yer değiştirme cihazı.
Summary Of Invention Özellikle yarı-iletken endüstrisinde kullanım için, sırasıyla X-yönüne ve Y-yönüne paralel uzanan sıralar ve sütunların bir modeli uyarınca bir mıknatıslar sisteminin (710) üzerinde düzenlendiği bir taşıyıcıyı (714) içeren bir yer değiştirme cihazı (701) açıklanır. Her sıra ve sütundaki mıknatıslar, örneğin her sıra ve her kolondaki birbirini takip eden mıknatısların manyetik oryantasyonunun saat yönünün tersine 90° döndüğü, bir Halbach dizini uyarınca düzenlenirler. İkinci kısım elektrik sargılarının iki tipi ile elektrik sargı sistemini (712) içerir ve burada, X-yönüne göre, bir tip +45° ve diğer tip -45° açısal dengelemeye sahiptir. Birinci kısım (714, 710) hareketsiz ikinci kısma (712) göre santimetrelerin bir aralığı veya daha fazlası üzerinden hareket ettirilebilir. Birinci kısmın yüksek hassasiyetle konumlandırılması için, bir interferometre sistemi (731, 730) sağlanır.
Attorney Information
Name EMİN KORHAN DERİCİOĞLU
ANKARA PATENT BÜROSU ANONİM ŞİRKETİ
Address ***** ANKARA
Priority Information
Date of Priority Priority Number Country of Priority
17-01-2005 EP 05100237 EP
Classes of The Invention
IPC
G03F 7/20
Patent Application Procedures
Date Date of Notification Operation Document
31-08-2021 6769-P-Belge Geçersiz (Yıllık Ücret Ödenmedi)
27-11-2020 Vekil Atama Talebi
15-02-2019 Vekil Atama Talebi
07-01-2019 Yıllık Ücret Ödeme Talebi
04-01-2018 Yıllık Ücret Ödeme Talebi
05-01-2017 Yıllık Ücret Ödeme Talebi
08-01-2015 Yıllık Ücret Ödeme Talebi
11-12-2014 Şekli Kontrol Yapıldı. Başvuru / İstem / Fasikül Onaylandı.
18-11-2014 Online Başvuru Kontrolü Yapıldı.
Publications
Publication Date Description
21-09-2021 Verilen Patent/FM Belgelerinin Yıllık Ücretinin Ödenmemesi Nedeniyle Geçersizlik ilanı
22-01-2018 Kullanma/Kullanmama Beyanı Verilmemiş Olan Başvuru veya Patent/Faydalı Modellerin İlanı
22-12-2014 Avrupa Patent Fasiküllerinin İlanı
Payment Dates
Row Year Payment Date Amount Paid (₺)
10 2015 08-01-2015 515.0
11 2016 05-01-2016 585.0
12 2017 05-01-2017 935.0
13 2018 04-01-2018 1280.0
14 2019 07-01-2019 1490.0